寧波普利姆半導(dǎo)體有限公司(總部)正式成立
生產(chǎn)基地完成生產(chǎn)場(chǎng)地裝修改造及潔凈實(shí)驗(yàn)室搭建
同月,各型加工設(shè)備和檢測(cè)設(shè)備順利入場(chǎng)
普利姆智能科技(無錫)有限公司(生產(chǎn)基地)正式成立
同月,團(tuán)隊(duì)人員順利入住,開始正常運(yùn)營(yíng)
首套高精密氣浮檢測(cè)平臺(tái)完成研發(fā)生產(chǎn)
完成交叉滾子運(yùn)動(dòng)模組及疊加軸運(yùn)動(dòng)模組的研發(fā)生產(chǎn)
完成首套晶圓對(duì)準(zhǔn)臺(tái)及晶圓搬運(yùn)機(jī)器人樣機(jī)的研制
完成LoadPort晶圓裝載系統(tǒng)的研發(fā)
同月,完成EFEM晶圓移載系統(tǒng)的研發(fā)及測(cè)試
完成晶圓移載檢測(cè)設(shè)備整機(jī)的研發(fā)與集成