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晶圓夾持手指(末端執(zhí)行器)

產(chǎn)品特性:

1、支持單臂、雙臂的配置

2、樣式豐富,包括真空吸附式、邊緣夾持式、翻轉(zhuǎn)式、疊層式、伯努利吸盤式

3、所有型號接口標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)一,可兼容大多數(shù)機器人,互換更便捷

4、支持結(jié)構(gòu)尺寸、夾持方式、材質(zhì)按需定制


產(chǎn)品參數(shù):

     支持晶圓尺寸     

2寸—12寸

夾持方式

真空吸附式、邊緣夾持式、翻轉(zhuǎn)式、伯努利吸盤式(可定制)

潔凈度

Class 1

材質(zhì)

氧化鋁、陶瓷、碳纖維等

特點

耐高溫、耐腐蝕、耐磨、高絕緣

應(yīng)用領(lǐng)域

適用于半導(dǎo)體(晶圓)、LED(藍寶石基板)、光電(玻璃)等產(chǎn)品的夾持搬運


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