產(chǎn)品特性：
1、采用大負(fù)載，高精度的封閉式氣浮軸承
2、非接觸力矩電機驅(qū)動，高動態(tài)響應(yīng)
3、高精度光學(xué)線性編碼器信號反饋，保證高精度定位
4、納米級軸跳、徑跳精度，重復(fù)精度更高
5、內(nèi)置高分辨率光柵尺傳感器
6、多種規(guī)格型號可選
產(chǎn)品參數(shù)：
臺面直徑 | 80mm—150mm（可定制） |
最大轉(zhuǎn)速 | 500—800rpm |
定位精度 | ±1.5 arc sec |
雙向重復(fù)精度 | ±1 arc sec |
最大負(fù)載 | 軸向70Kg；徑向30Kg |
軸向誤差 | ＜100nm |
徑向誤差 | ＜200nm |
擺角誤差 | <3urad |
光柵尺分辨率 | 0.1um |
氣壓 | 0.5Mpa |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 適用于半導(dǎo)體加工及量測、超精密加工、高精度計量、光學(xué)檢測和納米級設(shè)備等高端行業(yè) |
長按屏幕識別二維碼
打開手機掃描二維碼
