產(chǎn)品特性：
1、采用高精密氣浮導(dǎo)軌和無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
2、高穩(wěn)定性花崗巖基臺(tái)
3、內(nèi)置0.1um高分辨率光柵尺傳感器
4、優(yōu)異的定位精度和動(dòng)態(tài)性能
5、具備超高平面度和直線度
6、多種規(guī)格型號(hào)可選，可按需定制
產(chǎn)品參數(shù)：
有效行程 | 1000mm（可定制） |
持續(xù)推力 | 連續(xù)220N；峰值440N |
最大速度 | 2m/s |
加速度 | 4m/s² |
直線度 | ≤1um |
平面度 | ≤1um |
定位精度 | ±1um |
重復(fù)定位精度 | ±0.5um |
額定負(fù)載 | 15Kg |
光柵尺分辨率 | 0.1um |
氣壓 | 0.5Mpa |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 適用于半導(dǎo)體加工及量測(cè)、超精密加工、高精度光學(xué)掃描、光學(xué)檢測(cè)等高端行業(yè) |
長(zhǎng)按屏幕識(shí)別二維碼
打開手機(jī)掃描二維碼
