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精密光學檢測運動平臺

產(chǎn)品特性:

1、采用高精密氣浮導軌和弧線電機驅(qū)動

2、5軸納米精度機臺 B C軸徑向跳動25nm

3、自研的多軸運動控制算法,實現(xiàn)高定位精度和重復精度

4、高分辨率光柵尺信號反饋

5、多種規(guī)格型號可選,支持按需定制

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