產(chǎn)品特性:
1、采用高精密氣浮導軌和弧線電機驅(qū)動
2、5軸納米精度機臺 B C軸徑向跳動25nm
3、自研的多軸運動控制算法,實現(xiàn)高定位精度和重復精度
4、高分辨率光柵尺信號反饋
5、多種規(guī)格型號可選,支持按需定制
掃一掃 在手機上閱讀
8寸SMIF EFEM晶圓移載
精密氣浮旋轉(zhuǎn)臺
C軸旋轉(zhuǎn)運動
晶圓移載 EFEM
長按屏幕識別二維碼
打開手機掃描二維碼
友情鏈接: