產(chǎn)品特性:
1、適用于12寸品圓的搬運傳輸
2、自主化生產(chǎn),滿足用戶定制化需求
3、設(shè)計符合SEI標準,具備良好的通用性和兼容性
4、標準化和模塊化設(shè)計,可兼容多種工況要求
5、核心部件均為自主研發(fā),穩(wěn)定性好,通用性強
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晶圓移載 EFEM
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