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產(chǎn)品特性:

1、適用于12寸品圓的搬運(yùn)傳輸自主化生產(chǎn)

2、滿足用戶定制化需求設(shè)計(jì)符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)

3、可兼容多種工況要求

4、高效凈化及靜電消除等環(huán)境控制，確保品圓傳輸不受污染