產(chǎn)品特性:
1、具備超高的同心度、端跳及徑跳精度
2、采用高精度封閉式油靜壓軸承,具備優(yōu)良的阻尼特性
3、持續(xù)循環(huán)的潤(rùn)滑油散熱,保證主軸超高的熱穩(wěn)定性和高精度性能
4、自研流量補(bǔ)償控制、形變誤差控制等算法,保證0.1um的回轉(zhuǎn)精度
5、全油靜壓環(huán)形導(dǎo)軌,具有超平滑的速度軌跡
6、多種規(guī)格型號(hào)可選,支持按需定制
掃一掃 在手機(jī)上閱讀
超精密大中空氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
8寸SMIF EFEM晶圓移載
EFEM晶圓移載系統(tǒng)
Load Port晶圓裝載系統(tǒng)
長(zhǎng)按屏幕識(shí)別二維碼
打開手機(jī)掃描二維碼
友情鏈接: