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產(chǎn)品特性：

1、采用大負(fù)載，高精度封閉式氣浮軸承

2、非接觸力矩電機(jī)驅(qū)動(dòng)，高動(dòng)態(tài)響應(yīng)

3、內(nèi)置高分辨率光柵尺傳感器信號(hào)反饋

4、25納米端跳/徑跳精度，重復(fù)精度高

5、全空氣預(yù)載氣浮環(huán)形導(dǎo)軌，具有超平滑的速度軌跡

6、多種規(guī)格型號(hào)可選，支持按需定制