可滿足嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)的精密機(jī)械制造、表面處理特種工藝、焊接、組裝、檢測等多種制造工藝，主要產(chǎn)品包括工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品和氣體管路四大類，應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備及其他領(lǐng)域。
?直線模組（含/不含鐵芯）
?氣浮直線模組
氣浮直線模組，采用無鐵芯直驅(qū)無刷直線電機(jī)及全空氣預(yù)載氣浮導(dǎo)軌，從而消除了振動(dòng)及諧波噪聲，并內(nèi)置光柵尺傳感器，可持續(xù)輸出高達(dá)220N的推力，最大峰值推力440N，該模組具有優(yōu)異的直線度和平面度，具備穩(wěn)定性高，定位精度高，維護(hù)簡單等特點(diǎn)。
應(yīng)用工況：
適用于微米級(jí)甚至納米級(jí)快速定位，可滿足高精度和高運(yùn)行效率的工況要求。
比如：半導(dǎo)體晶圓、光伏片、液晶面板等設(shè)備中的搬運(yùn)和傳輸精準(zhǔn)定位，以及工業(yè)視覺檢測、微電子制造等需要高精度和高穩(wěn)定性及俯仰偏擺角度小等苛刻工況。
參數(shù) | 氣浮直線模組（PLM-LP350） | 氣浮直線模組（PLM-LP400） |
持續(xù)推力（N） | 220 | 230 |
峰值推力（N） | 440 | 460 |
有效行程（mm） | 100—1000 | 100—1200 |
額定負(fù)載（kg） | 15.0 | 20.0 |
進(jìn)口氣壓（MPa） | 0.4 | |
光柵分辨率（nm） | 25 | |
精度（um） | ±1 | |
重復(fù)定位精度（um） | ±0.2 | |
直線度（um/mm） | ±0.5 | |
平坦度（um） | ±0.5 | |
最大速度（mm/s） | 650 | |
?Z軸高精度模組
Z軸高精度直線模組，采用穩(wěn)定可靠的高精度機(jī)械導(dǎo)軌及高分辨率直線編碼器，從而達(dá)到微米級(jí)的垂直運(yùn)動(dòng)控制及精確定位能力，最大垂直行程可達(dá)50mm，該模組具有定位精度高，響應(yīng)速度快等特點(diǎn)。
應(yīng)用工況：
適用于微米級(jí)垂直運(yùn)動(dòng)快速定位，可滿足高精度和高運(yùn)行效率的工況要求。
比如：半導(dǎo)體晶圓、光伏片、液晶面板等檢測設(shè)備中的光學(xué)模組精準(zhǔn)定位，以及工業(yè)視覺檢測、微電子制造等需要高精度定位和高穩(wěn)定性及大行程垂直運(yùn)動(dòng)要求的苛刻工況。
參數(shù) | Z軸高精度直線模組（PLM-LZ50） |
有效行程（mm） | 10—50 |
額定負(fù)載（kg） | 7.0 |
編碼器分辨率（um） | 0.15 |
精度（um） | ±1 |
重復(fù)定位精度（um） | ±0.2 |
直線度（um/mm） | ±0.5 |
最大速度（mm/s） | 650 |
偏擺 (arc-sec) | 3 |
俯仰 (arc-sec) | 3 |
?氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)
采用無齒槽無刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，剛性耦合，沒有柔性環(huán)節(jié)，沒有齒槽力矩引起的力矩波動(dòng)，具有極高的帶寬和超平滑的速度軌跡。高精度光學(xué)編碼器及全空氣預(yù)載氣浮環(huán)形導(dǎo)軌使其達(dá)到納米級(jí)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)定位精度，該系列旋轉(zhuǎn)臺(tái)具有定位精度高，低速穩(wěn)定性好，響應(yīng)速度快等特點(diǎn)。
應(yīng)用工況：
適用于納米級(jí)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)快速定位，可滿足低速穩(wěn)定性要求極高的的工況要求。
比如：半導(dǎo)體晶圓、光伏片、液晶面板等檢測設(shè)備中的產(chǎn)品旋轉(zhuǎn)精準(zhǔn)定位，光學(xué)對(duì)位平臺(tái)，以及視覺檢測、微電子制造等需要高精度定位和高穩(wěn)定性旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)要求的苛刻工況。
參數(shù) | PLM-RT300 | PLM-RT450 |
行程（deg） | 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) | |
臺(tái)面直徑（mm） | 300 | 450 |
定位精度（um） | ±2 | |
重復(fù)定位精度（um） | ±0.5 | |
最大速度（mm/s） | 300 | |
軸向跳動(dòng)（nm） | 60 | 80 |
徑向跳動(dòng)（nm） | 100 | |
分辨率（um） | 0.1 | |
擺動(dòng)(arc-sec) | 3 | |
負(fù)載（kg） | 55 | 70 |
工作氣壓（MPa） | 0.5±0.05 | |
?XY交叉滾子平移模組
采用無刷直線電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)和高分辨率光學(xué)線性編碼器，相比于傳統(tǒng)的絲杠驅(qū)動(dòng)二維平移臺(tái)，即使在高速運(yùn)動(dòng)的情況下，直線電機(jī)也幾乎靜音，該平臺(tái)具有較高的運(yùn)動(dòng)速度和超平滑的運(yùn)行軌跡，且可搭配不同的適配板。高精度光學(xué)編碼器及雙重精密型交叉滾珠導(dǎo)軌使其達(dá)到納米級(jí)的運(yùn)動(dòng)定位精度，該系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有定位精度高，高速穩(wěn)定性好，響應(yīng)速度快等特點(diǎn)。
應(yīng)用工況：
適用于納米級(jí)二維運(yùn)動(dòng)快速定位，可滿足高速穩(wěn)定性及精度要求極高的工況要求。
比如：半導(dǎo)體晶圓檢測、光伏片、液晶面板等檢測設(shè)備中的產(chǎn)品二維精準(zhǔn)定位，光學(xué)對(duì)位平臺(tái)以及視覺檢測、微電子制造、顯微鏡等需要高精度定位和高穩(wěn)定性平移運(yùn)動(dòng)要求的苛刻工況。
參數(shù) | PLM-CS-8 | PLM-CS-12 |
XY行程（deg） | 220mm×220mm | 350mm×350mm |
單向精度（um） | 1 | 1.5 |
定位精度（um） | ±0.4 | |
重復(fù)定位精度（um） | ±0.5 | |
Max.速度（mm/s） | 500 | |
Min.速度（nm/s） | 0.5 | |
峰值推力（N） | 25 | |
負(fù)載（kg） | 30 | 40 |
直線模組
長按屏幕識(shí)別二維碼
打開手機(jī)掃描二維碼
