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產(chǎn)品特性：

1、整機(jī)系統(tǒng)完全自主化生產(chǎn)，滿足用戶定制化需求

2、設(shè)計符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，具備良好的通用性和兼容性

3、核心部件均為自主研發(fā)，穩(wěn)定性好，通用性強(qiáng)

4、標(biāo)準(zhǔn)化和模塊化設(shè)計，可兼容多種工況要求

5、內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊合理，接口標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)一，支持客戶定制化需求

服務(wù)內(nèi)容：

1、用戶可自行選擇設(shè)備組件，根據(jù)需求進(jìn)行整機(jī)定制及系統(tǒng)集成

2、按需設(shè)計定制上料系統(tǒng)及模組（Load Port定制設(shè)計）

3、晶圓移載系統(tǒng)設(shè)計（EFEM移載系統(tǒng)定制設(shè)計）

4、搬運機(jī)器人、末端執(zhí)行器、晶圓校準(zhǔn)器等按需定制

5、高精密運動檢測平臺定制設(shè)計