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產品特性:

1、采用大負載，高精度封閉式氣浮軸承

2、非接觸力知電機驅動高動態(tài)響應

3、內置高分辨率光柵尺傳感器信號反饋

4、25納米端跳 / 徑跳精度高、重復精度高

5、全空氣載氣浮壞形導軌，具有超平滑的速度軌跡

6、多種規(guī)格型號可選，支持按需定制