產(chǎn)品特性：
1、采用高精密氣浮導(dǎo)軌和無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
2、微米級(jí)平面度和直線度
3、自研的多軸運(yùn)動(dòng)控制算法，實(shí)現(xiàn)高定位精度和重復(fù)精度
4、龍門(mén)式雙驅(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，承載能力強(qiáng)
5、高分辨率光柵尺信號(hào)反饋，實(shí)現(xiàn)微米級(jí)定位精度
6、采用模塊化和正交性設(shè)計(jì)理念，實(shí)現(xiàn)多軸的高精度、高剛度直線運(yùn)動(dòng)
產(chǎn)品參數(shù)：
行程 | 320mm（可定制） |
最大速度 | 1m/s |
最大加速度 | 10m/s² |
平面度 | ±2um |
直線度 | ±1um |
定位精度 | ±0.2um（校準(zhǔn)補(bǔ)償后） |
重復(fù)定位精度 | ±0.1um |
最大負(fù)載 | 20Kg |
光柵尺分辨率 | 0.1um |
氣壓 | 0.4～0.5Mpa |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 適用于半導(dǎo)體加工及量測(cè)、超精密加工、光學(xué)檢測(cè)和微納加工等高端行業(yè) |
長(zhǎng)按屏幕識(shí)別二維碼
打開(kāi)手機(jī)掃描二維碼
